半導(dǎo)體制造產(chǎn)線是否需要伺服?
半導(dǎo)體制造產(chǎn)線通常需要使用伺服系統(tǒng)來實現(xiàn)高精度的位置控制和運動控制。
在半導(dǎo)體制造過程中,需要對硅片進行多次加工和處理,如切割、清洗、薄膜沉積、光刻等。這些加工和處理過程需要高精度的位置控制和運動控制,以確保加工和處理的精度和穩(wěn)定性。
相比傳統(tǒng)的步進電機,伺服系統(tǒng)具有更高的精度和穩(wěn)定性,可以通過閉環(huán)控制系統(tǒng)來實現(xiàn)更加精準的位置控制和運動控制。因此,在半導(dǎo)體制造產(chǎn)線中,伺服系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于各種設(shè)備和機器人,如切割機、清洗機、薄膜沉積設(shè)備、光刻機等。
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